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如何測量和調(diào)整掃描電鏡的放大倍數(shù)?

日期:2023-10-26

要測量和調(diào)整掃描電鏡的放大倍數(shù),您可以遵循以下步驟:

選擇標準樣品: 首先,選擇一個具有已知特征尺寸的標準樣品。這個樣品通常包含一些微小的特征或標記,如標準晶格或微米級標尺。這些特征的尺寸已知。

選擇適當?shù)姆糯蟊稊?shù): 在掃描電鏡的控制軟件中,選擇一個適當?shù)某跏挤糯蟊稊?shù)。這通常是一個較低的倍數(shù),以確保您可以找到樣品并進行初步對焦。

加載樣品: 將標準樣品放入掃描電鏡的樣品室,并確保其位于樣品臺上。

找到標記或特征: 使用所選的初始放大倍數(shù),找到標準樣品上的標記或特征。您可能需要調(diào)整焦距和對焦以獲得清晰的圖像。

測量特征的尺寸: 在圖像上使用測量工具來測量標記或特征的尺寸。大多數(shù)掃描電鏡軟件提供測量工具,您可以使用這些工具進行測量。確保您測量的是已知尺寸的特征。

計算實際放大倍數(shù): 使用已知的特征尺寸和測得的圖像尺寸,計算實際的放大倍數(shù)。實際放大倍數(shù)等于標準特征的尺寸除以測得的特征的尺寸。

調(diào)整放大倍數(shù): 根據(jù)計算的實際放大倍數(shù),調(diào)整掃描電鏡的放大倍數(shù),使其與您所需的放大倍數(shù)匹配。這通常涉及選擇一個新的放大倍數(shù)或進行微小的調(diào)整。

驗證測量: 重新測量標準樣品上的特征以驗證調(diào)整后的放大倍數(shù)。確保測得的尺寸與實際尺寸相匹配。

記錄設(shè)置: 一旦獲得所需的放大倍數(shù),確保記錄這些設(shè)置,以便將來使用。

這些步驟可幫助您測量和調(diào)整掃描電鏡的放大倍數(shù),以確保準確的成像和測量。請注意,不同類型的掃描電鏡可能具有不同的控制軟件和工具,因此可能需要根據(jù)您的具體設(shè)備和軟件進行適當?shù)恼{(diào)整。

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作者:澤攸科技