掃描電鏡中的電子束產(chǎn)生和控制是關(guān)鍵的操作步驟，它們直接影響到成像的質(zhì)量和分辨率。以下是電子束在掃描電鏡中如何產(chǎn)生和控制的基本原理：

電子束的產(chǎn)生：

電子槍： 掃描電鏡的核心部件之一是電子槍，通常包括一個(gè)熱陰極或場(chǎng)發(fā)射槍。熱陰極使用熱能激發(fā)電子，而場(chǎng)發(fā)射槍則利用電場(chǎng)來推出電子。這些電子源產(chǎn)生高能電子束。

電子加速： 產(chǎn)生的電子束被加速器加速，通常通過使用一系列電場(chǎng)。這些電場(chǎng)可以控制電子束的速度和能量。

電子束的控制：

透鏡系統(tǒng)： 掃描電鏡中有一系列電子透鏡，包括透鏡、對(duì)焦透鏡和偏轉(zhuǎn)透鏡。這些透鏡用于控制電子束的焦點(diǎn)和定位。

束縛系統(tǒng)： 掃描電鏡還包括束縛系統(tǒng)，它用于控制電子束的直徑和發(fā)散度。束縛系統(tǒng)通常包括一個(gè)或多個(gè)孔徑和電子鏡。

掃描線圈： 電子束的定位和掃描是通過在樣品上放置一組電子束偏轉(zhuǎn)線圈來實(shí)現(xiàn)的。這些線圈可在水平和垂直方向上控制電子束的位置。

探測(cè)器： 掃描電鏡通常配備各種類型的探測(cè)器，用于測(cè)量從樣品反射或散射回來的電子信號(hào)。不同類型的探測(cè)器可以用于不同的成像模式和分析技術(shù)，如SEI和BSEI。

電子束控制系統(tǒng)： 掃描電鏡的電子束控制由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)負(fù)責(zé)。用戶可以通過計(jì)算機(jī)界面調(diào)整電子束的強(qiáng)度、聚焦、掃描速度和掃描模式等參數(shù)。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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