在掃描電鏡（SEM）中，探針和探頭是兩個(gè)不同的概念，它們用于描述電子束與樣品之間的相互作用。

探針（Probe）：探針通常指的是電子束在樣品表面聚焦形成的非常細(xì)小的電子束。這個(gè)電子束用于掃描樣品表面并與樣品相互作用。探針的直徑可以調(diào)整，通?？梢赃_(dá)到幾納米到數(shù)十納米的量級(jí)，具體取決于儀器的設(shè)置和需求。探針的聚焦和定位對(duì)于獲得高分辨率的圖像和準(zhǔn)確的分析結(jié)果非常重要。

探頭（Detector）：探頭是用于檢測(cè)樣品表面反射或散射的信號(hào)的裝置。在掃描電鏡中，有多種類型的探頭用于接收不同類型的信號(hào)。常見的探頭包括次級(jí)電子探頭（Secondary Electron Detector）和后向散射電子探頭（Backscattered Electron Detector）。次級(jí)電子探頭用于檢測(cè)樣品表面產(chǎn)生的次級(jí)電子信號(hào)，這些電子是由電子束與樣品表面的原子和分子相互作用產(chǎn)生的。后向散射電子探頭用于檢測(cè)由電子束與樣品表面相互作用后，被散射回到探頭的電子信號(hào)。這些探頭接收到的信號(hào)經(jīng)過處理和放大后，可以形成樣品表面的圖像。

需要注意的是，探針和探頭是兩個(gè)不同的概念，探針是指電子束，而探頭是指用于檢測(cè)信號(hào)的裝置。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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