掃描電鏡（SEM）是利用電子束與樣品相互作用來成像的一種顯微鏡。其成像原理可以簡述為以下幾個步驟：

電子束的發(fā)射：SEM中的電子槍通過加熱陰極，使其發(fā)射出高速電子束。這些電子被聚焦和加速，形成高能電子束，進入掃描線圈，通過掃描線圈的變化，實現(xiàn)對樣品表面的掃描。

樣品表面的相互作用：電子束掃描到樣品表面時，會與樣品原子產(chǎn)生相互作用，如散射、反射、透射等。這些作用會產(chǎn)生一系列信號，包括二次電子（SE）信號、回散電子（BSE）信號、X射線、次級離子（SI）等。

信號的檢測和轉(zhuǎn)換：SEM中設(shè)有相應(yīng)的探測器，可以接收上述不同信號。其中，SE信號主要由二次電子探測器接收，BSE信號主要由回散電子探測器接收。探測器將信號轉(zhuǎn)換為電信號，并通過電路放大和處理，輸出到顯示器上。

形成圖像：顯示器顯示出經(jīng)處理后的信號，形成樣品表面的圖像。SEM圖像中的亮暗和顏色反映了樣品表面的不同性質(zhì)和成分，如SE信號主要反映表面形貌，BSE信號反映樣品的化學(xué)成分和密度等信息。

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