掃描電鏡常見的連接設(shè)備有哪些
日期:2023-02-23
掃描電鏡(SEM)是一種高分辨率成像技術(shù),可以用于觀察樣品的表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)。在使用中,可以將SEM與其他測量設(shè)備(如EDS、EBSD等)連接起來,從而實現(xiàn)對樣品成分和結(jié)構(gòu)的更全的分析和表征。以下是幾種常見的掃描電鏡連接設(shè)備。
EDS分析:EDS(能量分散X射線光譜)是一種常用的SEM連接測量技術(shù),可以用于分析樣品中的元素成分。通過將EDS探測器連接到SEM上,可以在成像的同時進行元素分析,獲得樣品的元素組成信息。
EBSD分析:EBSD(電子背散射衍射)是一種SEM連接測量技術(shù),可以用于分析樣品的結(jié)構(gòu)和晶體學(xué)性質(zhì)。通過將EBSD探測器連接到SEM上,可以在成像的同時進行晶體學(xué)分析,獲得樣品的晶體學(xué)信息和晶體結(jié)構(gòu)。
CL分析:CL(熒光)是一種常用的SEM連接測量技術(shù),可以用于分析樣品的光學(xué)性質(zhì)。通過將CL探測器連接到SEM上,可以在成像的同時進行光學(xué)分析,獲得樣品的熒光信息和光學(xué)特性。
AFM分析:AFM(原子力顯微鏡)是一種高分辨率的表面形貌測量技術(shù),可以與SEM連接起來用于對樣品進行更全的表征。通過將AFM探針與SEM成像區(qū)域重合,可以在SEM成像的同時進行高分辨率的表面形貌測量,獲得樣品的表面形態(tài)信息。
總之,連接測量方式可以為SEM成像提供更全的信息,使得樣品的成分、結(jié)構(gòu)和性質(zhì)可以得到更詳細的表征。不同的連接測量技術(shù)可以根據(jù)需要選擇,以獲得合適的分析結(jié)果。
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作者:澤攸科技