SEM原位MEMS氣氛臺
澤攸科技PicoFemto掃描電鏡原位MEMS氣氛臺,將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上,在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對實驗樣品原位加熱。
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澤攸科技PicoFemto掃描電鏡原位MEMS氣氛臺,將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上,在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對實驗樣品原位加熱。該系統(tǒng)允許研究者在氣氛環(huán)境中原位、動態(tài)、高分辨地對樣品的形貌結構和化學組分進行綜合表征,大大拓展了掃描電鏡的功能與應用領域。該產品可使研究者可以在掃描電鏡中實時觀測催化反應、氧化還原反應、低維材料生長/合成以及各類腐蝕反應,將您的掃描電鏡從一臺靜態(tài)成像工具升級為一套功能強大的納米實驗室。
? 掃描電鏡指標:
▲ 兼容指定類型電鏡
▲ 保證電鏡原有的真空度
▲ MEMS反應微腔指標
▲ 超薄氮化硅膜窗口
▲ 樣品漂移優(yōu)于0.7 nm/min
? 熱學指標:
▲ 溫度范圍:室溫到800 °C
▲ 溫度穩(wěn)定性:優(yōu)于0.1 ℃
? 氣體流動指標:
▲ 三通道混氣
▲ 氣壓范圍:0-1 bar
▲ 可通氣體:H2、N2、02、He、CO、CO2、CxHy
▲ 氣體流速:≥0.1 sccm
▲ 流速范圍:1 sccm×3(N2)
▲ 控壓范圍:100 mbar-1000 bar
▲ 軟件控制
以上就是澤攸科技對SEM原位MEMS氣氛臺的介紹,關于價格請咨詢15756003283(微信同號)。