掃描電鏡（SEM）的樣品臺通?？梢詢A斜，這一功能對于獲得高質(zhì)量成像效果和分析結(jié)果非常重要。

樣品臺傾斜的功能和作用

增強(qiáng)表面特征的可見性：

傾斜樣品可以改變?nèi)肷潆娮邮c樣品表面的角度，從而提高表面特征的對比度和清晰度。

特別是對于高度起伏的樣品，傾斜有助于減少影像中的陰影區(qū)域。

提高信號收集效率：

傾斜樣品可以增加二次電子或背散射電子的發(fā)射角，從而提高信號強(qiáng)度。

對于某些檢測器（如背散射電子檢測器），樣品的傾斜有助于優(yōu)化信號采集。

測量晶體取向：

在電子背散射衍射（EBSD）分析中，樣品通常需要傾斜到 70° 左右，以優(yōu)化衍射圖案的信號強(qiáng)度。

元素成分分析：

在能譜分析（EDS）中，適當(dāng)傾斜樣品可以改善 X 射線的出射路徑，減少信號吸收，提高分析精度。

樣品臺的傾斜范圍

大多數(shù) SEM 的樣品臺傾斜范圍在 0° 到 90° 之間，但具體范圍取決于設(shè)備的型號和樣品臺設(shè)計。

一些高精度樣品臺可能支持微小角度的調(diào)整，以便進(jìn)行更加精細(xì)的優(yōu)化。

傾斜樣品的注意事項

樣品高度限制：

傾斜樣品后，其實(shí)際高度會增加，需要注意樣品與電鏡鏡筒之間的距離，以避免發(fā)生碰撞。

視場變化：

傾斜樣品會改變電子束在樣品上的投影面積，可能導(dǎo)致視場形狀從圓形變?yōu)闄E圓形。

電荷積累和分辨率影響：

對于非導(dǎo)電樣品，傾斜可能導(dǎo)致電荷分布不均，影響成像質(zhì)量。

高傾斜角度下，圖像分辨率可能會有所下降。

校準(zhǔn)：

傾斜樣品后，特別是用于測量的圖像，需要校正透視效應(yīng)和角度誤差。

如何操作樣品臺傾斜？

通過 SEM 控制界面：

現(xiàn)代 SEM 設(shè)備大多配備了電動樣品臺，用戶可以在軟件界面中通過滑塊或輸入角度數(shù)值進(jìn)行調(diào)整。

手動調(diào)整（舊型號或特殊設(shè)備）：

某些 SEM 可能需要手動調(diào)節(jié)樣品臺上的旋鈕以設(shè)置傾斜角度。

傾斜的實(shí)時觀察：

監(jiān)控樣品在屏幕上的圖像，并根據(jù)成像需求逐步調(diào)整角度，直至達(dá)到理想效果。

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