如何在掃描電鏡中實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)自動(dòng)掃描?
日期:2024-10-24
在掃描電子顯微鏡(SEM)中實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)自動(dòng)掃描通常涉及以下幾個(gè)步驟:
軟件設(shè)置:
確保您的SEM配備了支持自動(dòng)掃描功能的軟件。許多現(xiàn)代SEM系統(tǒng)都有自動(dòng)化控制軟件。
樣品準(zhǔn)備:
將樣品固定在樣品臺(tái)上,并確保樣品的多個(gè)感興趣區(qū)域可以在掃描范圍內(nèi)。
設(shè)置掃描點(diǎn):
使用顯微鏡軟件選擇多個(gè)掃描點(diǎn)。您可以手動(dòng)指定每個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo),或者使用圖像處理工具自動(dòng)識(shí)別感興趣區(qū)域。
參數(shù)配置:
為每個(gè)掃描點(diǎn)設(shè)置掃描參數(shù),如加速電壓、束流強(qiáng)度、掃描速度、放大倍率等。
執(zhí)行掃描:
啟動(dòng)自動(dòng)掃描功能,顯微鏡將按照設(shè)定的順序依次掃描每個(gè)點(diǎn),并記錄數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)分析:
完成掃描后,使用數(shù)據(jù)處理軟件分析獲取的圖像和數(shù)據(jù)。
結(jié)果整合:
將各個(gè)掃描點(diǎn)的結(jié)果整合到一個(gè)綜合圖像中,以便進(jìn)行比較和分析。
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作者:澤攸科技