在掃描電子顯微鏡（SEM）中，高真空（High Vacuum, HV）和低真空（Low Vacuum, LV）模式的切換是為了適應(yīng)不同樣品的成像需求。高真空模式通常用于無揮發(fā)性或?qū)щ姌悠?，而低真空模式適用于易揮發(fā)或非導(dǎo)電樣品。以下是如何在SEM中進(jìn)行高真空和低真空模式切換的步驟和注意事項(xiàng)：

1. 理解高真空和低真空模式

高真空模式:

真空度: 通常在10??托 (Torr) 量級(jí)。

應(yīng)用: 適用于導(dǎo)電樣品和某些經(jīng)過表面處理的非導(dǎo)電樣品（如鍍金、鍍碳）。

優(yōu)點(diǎn): 提供更高的分辨率和對(duì)比度，適合精細(xì)結(jié)構(gòu)的成像。

低真空模式:

真空度: 通常在10?2到10?3托 (Torr) 之間。

應(yīng)用: 適用于未鍍膜的非導(dǎo)電樣品、生物樣品、濕潤樣品或含揮發(fā)性成分的樣品。

優(yōu)點(diǎn): 減少或消除充電效應(yīng)，并允許直接觀察未處理的非導(dǎo)電樣品。

2. 切換準(zhǔn)備

檢查樣品類型: 在決定使用哪種模式之前，首先評(píng)估樣品的特性（導(dǎo)電性、揮發(fā)性、結(jié)構(gòu)敏感性等）。導(dǎo)電樣品和結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的樣品通常使用高真空模式；而非導(dǎo)電、濕潤或敏感樣品則適合低真空模式。

樣品固定: 無論使用哪種模式，確保樣品牢固地固定在樣品架上，以防在真空過程中發(fā)生移動(dòng)或損壞。

3. 設(shè)備設(shè)置

進(jìn)入高真空模式:

真空泵啟動(dòng): 啟動(dòng)SEM的高真空泵（通常是渦輪分子泵或擴(kuò)散泵），將樣品室抽至高真空狀態(tài)。

電子束設(shè)置: 在高真空模式下，電子束具有更高的穿透力，可以調(diào)整加速電壓以優(yōu)化分辨率和對(duì)比度。

檢測(cè)器選擇: 使用二次電子檢測(cè)器（SE Detector）或背散射電子檢測(cè)器（BSE Detector），適合于高真空模式下的成像。

切換到低真空模式:

控制真空度: 在控制界面選擇低真空模式，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)樣品室的真空度至所需范圍。此時(shí)，系統(tǒng)通常會(huì)引入適量的惰性氣體（如氮?dú)猓﹣矸€(wěn)定樣品環(huán)境。

電子束設(shè)置: 在低真空模式下，通常需要調(diào)整電子束電壓以適應(yīng)較低的真空度。低加速電壓可以減少樣品表面的充電效應(yīng)。

檢測(cè)器選擇: 低真空模式通常使用專門設(shè)計(jì)的低真空二次電子檢測(cè)器（LV-SE Detector）或氣體輔助探測(cè)器，以應(yīng)對(duì)低真空環(huán)境下的成像需求。

4. 切換過程中的注意事項(xiàng)

樣品保護(hù): 在切換真空模式時(shí)，確保樣品不會(huì)因快速壓力變化而受到損壞。某些樣品在低真空環(huán)境下容易揮發(fā)或變質(zhì)，需要特別注意。

真空環(huán)境穩(wěn)定: 在切換至低真空模式后，確保真空環(huán)境穩(wěn)定，避免真空波動(dòng)影響成像質(zhì)量。

成像參數(shù)調(diào)整: 每次切換真空模式后，都需要重新調(diào)整成像參數(shù)（如電子束電壓、探測(cè)器設(shè)置等），以獲得高質(zhì)量圖像。

5. 觀察與成像

高真空模式成像: 由于高真空下的電子束更集中，成像過程中可以捕捉到更精細(xì)的樣品結(jié)構(gòu)。因此，高真空模式適合用于高分辨率成像。

低真空模式成像: 在低真空模式下，樣品表面不會(huì)因充電效應(yīng)而產(chǎn)生偽影，這使得它非常適合觀察未處理的非導(dǎo)電樣品。雖然分辨率可能稍低，但能夠更真實(shí)地反映樣品的表面特征。

6. 模式切換后的清潔與維護(hù)

設(shè)備清潔: 如果在低真空模式下使用了惰性氣體或其他輔助氣體，切換回高真空模式前，應(yīng)檢查并清潔樣品室，防止殘留氣體影響高真空環(huán)境。

真空泵維護(hù): 定期檢查并維護(hù)真空泵，確保其在不同模式下的正常運(yùn)行。特別是渦輪分子泵或擴(kuò)散泵，需要保證其能夠迅速達(dá)到預(yù)定的真空度。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中進(jìn)行高真空和低真空模式切換。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢15756003283(微信同號(hào))。