在臺(tái)式掃描電子顯微鏡（SEM）中進(jìn)行多點(diǎn)成像和分析是一種常見(jiàn)的操作，特別是在需要分析多個(gè)感興趣區(qū)域或在樣品的不同位置進(jìn)行比較時(shí)。以下是如何在臺(tái)式SEM中實(shí)現(xiàn)這一過(guò)程的步驟：

1. 準(zhǔn)備樣品

確保樣品已正確安裝在樣品臺(tái)上，并且表面清潔。然后，將樣品臺(tái)放置在SEM的樣品腔中，并抽真空。

2. 定位樣品

使用SEM的低倍率模式（通常是SEI模式）來(lái)找到樣品的大致位置和感興趣區(qū)域（ROI）。然后，可以使用光學(xué)顯微鏡功能（如果配備）來(lái)進(jìn)一步調(diào)整樣品位置。

3. 設(shè)置多點(diǎn)成像

多點(diǎn)成像涉及選擇多個(gè)感興趣區(qū)域，然后在每個(gè)區(qū)域上進(jìn)行成像。以下是具體步驟：

方法1：手動(dòng)選擇和成像

導(dǎo)航到感興趣區(qū)域：使用X-Y樣品臺(tái)控制器導(dǎo)航到感興趣區(qū)域。

成像：選擇適當(dāng)?shù)募铀匐妷?、束流?qiáng)度、工作距離等參數(shù)，并進(jìn)行成像。

記錄坐標(biāo)：記錄當(dāng)前樣品臺(tái)的X-Y坐標(biāo)，便于稍后返回此區(qū)域。

重復(fù)操作：移動(dòng)樣品臺(tái)到下一個(gè)感興趣區(qū)域，并重復(fù)成像步驟。

方法2：自動(dòng)多點(diǎn)成像（如果SEM支持）

設(shè)置自動(dòng)多點(diǎn)成像程序：一些臺(tái)式SEM允許用戶(hù)預(yù)設(shè)多個(gè)點(diǎn)的X-Y坐標(biāo)。通過(guò)軟件界面輸入這些坐標(biāo)，并設(shè)置自動(dòng)成像參數(shù)。

執(zhí)行多點(diǎn)成像：?jiǎn)?dòng)程序，SEM將自動(dòng)移動(dòng)樣品臺(tái)并在預(yù)設(shè)點(diǎn)上進(jìn)行成像。

4. 圖像和數(shù)據(jù)分析

采集到的圖像可以在SEM自帶的軟件中進(jìn)行分析。以下是常見(jiàn)的分析操作：

尺寸測(cè)量：使用軟件中的測(cè)量工具對(duì)感興趣區(qū)域的特征進(jìn)行尺寸測(cè)量。

成分分析（如果配備EDS）：在每個(gè)成像點(diǎn)上執(zhí)行能譜分析（EDS），獲得樣品成分信息。

表面形貌分析：分析表面結(jié)構(gòu)，識(shí)別顆粒、缺陷或其他表面特征。

5. 保存與導(dǎo)出數(shù)據(jù)

將每個(gè)成像點(diǎn)的圖像和分析數(shù)據(jù)保存到SEM的軟件系統(tǒng)中，或者導(dǎo)出為常見(jiàn)的圖像格式（如TIFF、JPEG）和數(shù)據(jù)格式（如CSV、Excel）。

6. 創(chuàng)建報(bào)告

在完成所有多點(diǎn)成像和分析后，可以使用SEM軟件中的報(bào)告生成功能，將圖像、測(cè)量數(shù)據(jù)和分析結(jié)果匯總到一個(gè)報(bào)告中。報(bào)告通?？梢詫?dǎo)出為PDF或其他文檔格式，便于進(jìn)一步共享和研究。

7. 復(fù)核與驗(yàn)證

在必要時(shí)，可以返回特定點(diǎn)重新進(jìn)行成像和分析，以驗(yàn)證結(jié)果的準(zhǔn)確性和一致性。此時(shí)，記錄的X-Y坐標(biāo)可以幫助快速定位之前的成像區(qū)域。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在臺(tái)式掃描電鏡中進(jìn)行多點(diǎn)成像和分析。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢(xún)15756003283(微信同號(hào))。