掃描電鏡的操作流程是怎樣的
日期:2024-04-01
掃描電子顯微鏡(SEM)的操作流程通常包括以下步驟:
準備樣品:
樣品制備:將待觀察的樣品制備成適當?shù)男螤詈痛笮?,并確保其表面光滑、干凈。
導電處理:對非導電性樣品進行導電處理,以避免電荷積聚影響成像質量。
安裝樣品:
安裝樣品支架:將樣品放置在樣品支架上,并使用導電膠或夾具將其固定在位置上。
調(diào)整樣品位置:調(diào)整樣品位置和角度,使其處于高質量成像位置,并確保與電子束的路徑正交。
真空抽氣:
打開真空系統(tǒng):啟動掃描電鏡,并打開真空系統(tǒng),開始真空抽氣。
穩(wěn)定真空度:等待真空度穩(wěn)定達到工作要求,通常在高真空狀態(tài)下工作。
調(diào)節(jié)參數(shù):
設置加速電壓:根據(jù)樣品性質和所需分辨率,設置合適的加速電壓。
調(diào)節(jié)工作距離:調(diào)節(jié)電子槍和樣品之間的工作距離,以保持適當?shù)某上駰l件。
選擇探針尺寸:根據(jù)需要選擇合適的探針尺寸,以平衡分辨率和信號強度。
對焦和對準:
對焦樣品:使用透射電鏡或圖像對焦功能,調(diào)整電子束的焦點,使其聚焦在樣品表面。
對準樣品:通過微調(diào)樣品位置和角度,確保電子束垂直撞擊樣品表面。
開始成像:
啟動成像程序:選擇成像模式和參數(shù),并啟動成像程序,開始獲取圖像。
捕獲圖像:根據(jù)需要調(diào)整掃描速度和圖像質量,捕獲樣品表面的圖像。
分析和保存:
圖像分析:對獲取的圖像進行分析和處理,測量尺寸、形狀,分析表面形貌等。
結果保存:根據(jù)需要保存圖像和分析結果,并記錄相關參數(shù)和觀察條件。
關閉設備:
關閉成像程序:完成成像任務后,關閉成像程序并停止電子束。
關閉真空系統(tǒng):關閉真空系統(tǒng),并按照操作規(guī)程安全關閉設備。
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作者:澤攸科技