掃描電子顯微鏡（SEM）是一種常用的高分辨率成像技術(shù)，其成像參數(shù)包括以下幾個方面：

加速電壓： 加速電壓是用于加速電子束的電壓，通常以千伏（kV）為單位。更高的加速電壓可以產(chǎn)生更高能量的電子束，從而獲得更高的分辨率和深度。

放大倍數(shù)： 放大倍數(shù)表示樣品圖像在顯微鏡中被放大的倍數(shù)。放大倍數(shù)通常以倍數(shù)或百分比表示，可以根據(jù)需要調(diào)整以獲得所需的圖像細節(jié)和分辨率。

工作距離： 工作距離是指電子槍射出的電子束到樣品表面之間的距離。較長的工作距離通常用于觀察凸起的樣品表面，而較短的工作距離則用于觀察凹陷的樣品表面。

探針電流： 探針電流是指射入樣品的電子束的電流大小。探針電流的大小會影響到成像的信噪比和樣品的表面損傷程度，通常需要根據(jù)樣品的性質(zhì)和成像要求進行調(diào)整。

掃描速度： 掃描速度是指電子束在樣品表面掃描的速度，通常以像素/秒為單位。更快的掃描速度可以加快成像速度，但可能會降低圖像的分辨率。

檢測器類型： SEM 可以配備不同類型的檢測器，如二次電子檢測器（SE detector）、反射電子檢測器（BSE detector）、能量散射譜儀（EDS detector）等。不同類型的檢測器可用于獲取不同類型的信號和信息，用于分析樣品的表面形貌、組成和結(jié)構(gòu)等特征。

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