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臺(tái)式掃描電鏡與傳統(tǒng)電子顯微鏡有何不同

日期:2024-02-19

臺(tái)式掃描電鏡(SEM)和傳統(tǒng)電子顯微鏡(TEM)在工作原理、應(yīng)用和圖像獲取方面有一些不同之處:

工作原理:

SEM:SEM使用電子束掃描樣品表面,然后檢測(cè)從樣品表面反射、散射或者發(fā)射出來(lái)的信號(hào),如二次電子、背散射電子、X射線等,來(lái)獲取圖像。

TEM:TEM通過(guò)透射電子束穿透樣品,然后檢測(cè)透射電子的強(qiáng)度和位置信息,從而獲得樣品的高分辨率內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖像。

應(yīng)用范圍:

SEM:SEM主要用于表面形貌和表面結(jié)構(gòu)的研究,可用于金屬、陶瓷、生物材料、半導(dǎo)體等樣品的觀察和分析。

TEM:TEM主要用于觀察材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和晶體學(xué)特征,對(duì)納米結(jié)構(gòu)和原子級(jí)別的材料研究尤為重要。

圖像獲取:

SEM:SEM圖像是樣品表面的三維形貌圖像,具有高深度和高分辨率,能夠顯示樣品的表面形態(tài)和微觀結(jié)構(gòu)。

TEM:TEM圖像是樣品的二維投影圖像,通常具有更高的分辨率,能夠顯示材料的晶體結(jié)構(gòu)、晶面、原子排列等細(xì)節(jié)。

樣品準(zhǔn)備:

SEM:SEM對(duì)樣品的準(zhǔn)備要求相對(duì)較低,通常不需要太復(fù)雜的樣品制備過(guò)程,樣品可以直接進(jìn)行觀察。

TEM:TEM對(duì)樣品的制備要求較高,通常需要將樣品制備成非常薄的切片,以確保電子束能夠透射樣品并獲得清晰的圖像。

分辨率:

SEM:SEM的分辨率通常在納米級(jí)別,能夠觀察到樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)和細(xì)節(jié)。

TEM:TEM的分辨率通常在埃級(jí)別(0.1納米),能夠觀察到樣品內(nèi)部的原子級(jí)別的細(xì)節(jié)。

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澤攸臺(tái)式掃描電鏡



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作者:澤攸科技