掃描電鏡中的電子束是通過電子槍生成并經(jīng)過一系列的控制和聚焦步驟來實(shí)現(xiàn)高分辨率的成像。以下是掃描電鏡中電子束的生成和控制的基本原理：

電子槍：

掃描電鏡中的電子束首先由電子槍產(chǎn)生。電子槍通常包括一個(gè)熱陰極（通常是鎢絲）和一個(gè)陽極。當(dāng)熱陰極受加熱時(shí)，會(huì)發(fā)射電子，形成電子云。

電子束的加速：

電子云被加速器加速，通常通過電場或電壓差。這個(gè)過程將電子云加速到相對(duì)較高的能量，以形成高速的電子束。

電子束的調(diào)制和聚焦：

通過使用一系列的電場透鏡和磁場透鏡，電子束經(jīng)過調(diào)制和聚焦，以形成細(xì)小而集中的電子束。這有助于提高電子束的分辨率和聚焦能力。

掃描線圈：

電子束通過被稱為掃描線圈的電磁設(shè)備，該線圈可在樣品表面進(jìn)行快速掃描。通過調(diào)整掃描線圈的電流，可以控制電子束在樣品表面的位置。

樣品交互作用：

當(dāng)高速電子束與樣品表面相互作用時(shí)，產(chǎn)生的信號(hào)（如二次電子、反向散射電子等）將被收集并用于生成圖像。樣品在電子束的激發(fā)下會(huì)發(fā)射出不同的信號(hào)，這些信號(hào)用于形成圖像。

檢測和圖像生成：

通過檢測樣品表面反饋的信號(hào)，掃描電鏡可以生成高分辨率的表面拓?fù)鋱D像。檢測器測量樣品表面的信號(hào)，并將這些信號(hào)轉(zhuǎn)換為圖像，反映樣品的微觀形貌。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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