掃描電鏡是一種強(qiáng)大的顯微鏡，主要用于觀察樣品的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)。然而，要獲取關(guān)于樣品表面化學(xué)成分的詳細(xì)信息，通常需要使用額外的儀器或技術(shù)。

一種常見的方法是結(jié)合能譜儀附件，例如能譜儀（EDS）或電子能譜儀（EBSD）。這些附件使得在SEM中不僅可以觀察樣品的微觀結(jié)構(gòu)，還可以獲取有關(guān)元素分布和晶體結(jié)構(gòu)的重要信息。

能譜儀附件通過測量樣品表面產(chǎn)生的X射線，從而提供元素分析的數(shù)據(jù)。這使得用戶能夠確定樣品中存在的元素類型和相對豐度。另一方面，電子能譜儀可以用于獲取有關(guān)晶體結(jié)構(gòu)、晶粒取向和晶界信息的數(shù)據(jù)。

綜合來說，通過SEM結(jié)合能譜儀等附件，研究人員可以更全地理解樣品的性質(zhì)，既包括其表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)，也包括化學(xué)成分的信息。這種綜合性的分析有助于深入了解材料的性質(zhì)和特性，對于科學(xué)研究和工程應(yīng)用都具有重要意義。

ZEM18臺式掃描電鏡

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