選擇和設(shè)置掃描電鏡（SEM）的工作距離和對(duì)焦參數(shù)是非常重要的，因?yàn)樗鼈冎苯佑绊懗上褓|(zhì)量和分辨率。下面是一些關(guān)于如何選擇和設(shè)置SEM的工作距離和對(duì)焦參數(shù)的建議：

1. 工作距離選擇：

SEM的工作距離是電子束從電子槍到樣品表面的距離。通常，您需要選擇一個(gè)合適的工作距離，以確保樣品清晰可見(jiàn)。

在選擇工作距離時(shí)，要考慮到樣品的性質(zhì)。通常，您需要將工作距離設(shè)置得更短以獲得更好的分辨率。

較長(zhǎng)的工作距離可用于觀察大型樣品，而較短的工作距離適用于小樣品或需要高分辨率的情況。

2. 對(duì)焦參數(shù)設(shè)置：

對(duì)焦是使圖像清晰的關(guān)鍵步驟。對(duì)焦參數(shù)通常包括電子束電壓、孔徑和工作距離。

電子束電壓：增加電子束電壓會(huì)提高電子束的穿透能力，但也可能減小分辨率。通常，您需要選擇適當(dāng)?shù)碾娮邮妷阂詫?shí)現(xiàn)樣品的對(duì)焦。

孔徑：孔徑是控制電子束的大小和形狀的參數(shù)。較小的孔徑通常用于高分辨率成像，而較大的孔徑用于提高樣品的信號(hào)。

工作距離：調(diào)整工作距離以獲得合適的對(duì)焦。根據(jù)樣品的形狀和性質(zhì)，您可能需要逐漸改變工作距離，直到圖像清晰。

3. 自動(dòng)對(duì)焦功能：

許多現(xiàn)代SEM系統(tǒng)都配備了自動(dòng)對(duì)焦功能，它可以幫助您更容易地獲得清晰的圖像。這些系統(tǒng)使用內(nèi)置的對(duì)焦算法來(lái)自動(dòng)調(diào)整對(duì)焦參數(shù)。

4. 樣品準(zhǔn)備和標(biāo)本制備：

樣品的準(zhǔn)備和制備也會(huì)影響對(duì)焦。確保樣品表面平整、潔凈，并具有所需的導(dǎo)電性。

5. 檢查圖像：

在進(jìn)行詳細(xì)的成像之前，進(jìn)行初步的檢查以確保對(duì)焦正確。您可以通過(guò)在不同的對(duì)焦參數(shù)下拍攝幾張圖像，然后選擇清晰的圖像。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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