掃描電鏡的操作和樣品加載步驟
日期:2023-10-20
掃描電鏡(SEM)用于觀察樣品的微觀結(jié)構(gòu)和表面形貌。以下是掃描電鏡的一般操作步驟和樣品加載過(guò)程:
1. 掃描電鏡的準(zhǔn)備:
打開(kāi)電源并等待設(shè)備預(yù)熱。
啟動(dòng)控制軟件,如Igor Pro或其他SEM軟件。
檢查系統(tǒng)狀態(tài),確保所有零部件正常工作。
2. 樣品準(zhǔn)備:
樣品須具備導(dǎo)電性或者需要被涂覆導(dǎo)電性薄層以避免電荷積累。
樣品需要固定在SEM樣品架上。樣品架通常有夾持夾或樣品支架。
3. 樣品加載:
打開(kāi)樣品室,這是一個(gè)可以容納樣品的區(qū)域。
將樣品小心地安置在樣品架上。
封閉樣品室并確保安全鎖定,以防止樣品在成像期間受到震動(dòng)或移動(dòng)。
4. 設(shè)置成像參數(shù):
使用控制軟件,設(shè)置所需的成像參數(shù),包括放大倍數(shù)、電子束電壓、檢測(cè)器類型、掃描速度等。
調(diào)整焦距和工作距離,以獲得清晰的圖像。
設(shè)置掃描模式,如點(diǎn)掃描或行掃描。
5. 對(duì)樣品進(jìn)行初步定位:
使用光學(xué)顯微鏡或低倍數(shù)SEM成像來(lái)對(duì)樣品進(jìn)行初步定位,以便選擇感興趣的區(qū)域。
6. 開(kāi)始成像:
啟動(dòng)電子束并開(kāi)始成像。
實(shí)時(shí)觀察屏幕上的圖像,確保獲得所需的圖像質(zhì)量。
在必要時(shí)根據(jù)觀察結(jié)果進(jìn)行參數(shù)調(diào)整。
7. 數(shù)據(jù)記錄和保存:
SEM軟件通常允許您捕獲圖像和數(shù)據(jù),將其保存在計(jì)算機(jī)中,或者導(dǎo)出到其他文件格式中以供進(jìn)一步分析。
8. 結(jié)束操作:
成像完成后,關(guān)閉電子束并保存所有設(shè)置。
移除樣品并將其妥善存儲(chǔ)。
關(guān)閉掃描電鏡并斷電。
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作者:澤攸科技