掃描電鏡（SEM）本身不能進(jìn)行化學(xué)成分分析，但可以與能量色散X射線光譜儀（EDS）或能量色散X射線分析儀（EDX）結(jié)合使用來進(jìn)行化學(xué)成分分析。這種組合通常稱為SEM-EDS或SEM-EDX系統(tǒng)。

SEM-EDS系統(tǒng)可以用于分析材料樣品的化學(xué)成分。它的工作原理是，當(dāng)電子束擊中樣品表面時，會激發(fā)出來自樣品的X射線。這些X射線的能量特征對應(yīng)于樣品中不同元素的存在。EDS/EDX系統(tǒng)會測量這些X射線，并根據(jù)它們的能量來確定樣品中的元素種類和相對濃度。

以下是SEM-EDS分析的一般步驟：

準(zhǔn)備樣品： 樣品通常需要導(dǎo)電性，因此需要涂覆導(dǎo)電性薄層或進(jìn)行金屬涂層，以便SEM觀察和分析。

設(shè)置掃描電鏡條件： 在SEM中選擇合適的電子束能量和焦點，以獲得高分辨率的圖像。

獲取掃描電鏡圖像： 使用SEM來觀察樣品表面，并選擇要進(jìn)行化學(xué)成分分析的區(qū)域。

EDS數(shù)據(jù)采集： 在感興趣的區(qū)域內(nèi)，啟動EDS/EDX系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。系統(tǒng)會測量X射線的能譜。

能譜分析： 使用EDS/EDX軟件來分析能譜數(shù)據(jù)。軟件會識別和分析X射線峰，從而確定元素種類和相對濃度。

結(jié)果解釋： 根據(jù)分析結(jié)果解釋樣品的化學(xué)成分?？梢陨苫瘜W(xué)成分的報告，包括元素的百分比和分布圖。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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