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掃描電鏡的深度探針是什么?在什么情況下使用?

日期:2023-08-14

在掃描電子顯微鏡(SEM)中,深度探針是指電子束在樣本表面掃描期間所能達到的深度范圍。它與電子束的特性、樣本性質以及掃描參數(shù)有關。深度探針的大小決定了電子束在樣本表面上相對于表面的深度范圍,即電子束穿透樣本表面的程度。

深度探針在以下情況下會被考慮和使用:

表面形貌和拓撲分析: 當需要研究樣本的表面形貌、結構、紋理以及微觀拓撲特征時,可以使用較淺的深度探針,以確保電子束只在樣本表面掃描,不深入樣本內部。

斷面觀察: 有時需要觀察樣本的橫截面,了解樣本的內部結構和層次。在這種情況下,需要較大的深度探針,使電子束能夠穿透樣本表面并進入一定深度,從而觀察到樣本的內部層次。

化學成分分析: 使用能量色散X射線譜(EDS)附加設備,可以對樣本進行化學成分分析。適當選擇深度探針可以在不破壞樣本的情況下獲取元素分布信息。

導電性分析: 對于非導電的樣本,高探針電流可能引起電荷積累和圖像失真。選擇合適的深度探針可以減輕這些問題。

薄層和涂層分析: 對于涂層、薄層或多層結構的樣本,適當?shù)纳疃忍结樋梢詭椭^察不同層的界面和結構。

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作者:澤攸科技