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臺式掃描電鏡的樣品處理流程和注意事項(xiàng)是什么

日期:2023-08-10

臺式掃描電鏡(SEM)是一種強(qiáng)大的顯微鏡,可以用于高分辨率的表面成像和分析。以下是臺式掃描電鏡樣品處理的一般流程和注意事項(xiàng):

樣品處理流程:

準(zhǔn)備樣品: 根據(jù)實(shí)驗(yàn)?zāi)康?,選擇合適的樣品,并確保它們干凈、整潔。非導(dǎo)電樣品需要進(jìn)行適當(dāng)?shù)那疤幚恚詼p輕充電效應(yīng)。

固定樣品: 使用導(dǎo)電膠、樣品夾或其他方法將樣品固定在SEM樣品臺上,確保樣品穩(wěn)定且與臺面良好接觸。

導(dǎo)電涂層(如果需要): 對于非導(dǎo)電樣品,可以涂覆一層導(dǎo)電涂層,如金屬或碳,以減輕充電效應(yīng)。

真空脫氣: 如果需要,將樣品放置在真空脫氣室中,以減少樣品表面的氣體分子,減輕充電問題。

調(diào)整樣品位置: 使用樣品臺移動功能將樣品位置調(diào)整到所需的位置,以便于觀察和分析。

調(diào)整焦距和對焦: 使用顯微鏡或SEM軟件來調(diào)整焦距,確保樣品處于清晰的成像狀態(tài)。

選擇成像參數(shù): 根據(jù)實(shí)驗(yàn)?zāi)康?,選擇合適的電子束加速電壓、探針電流、掃描速度等成像參數(shù)。

成像: 開始成像過程,獲取所需區(qū)域的圖像??梢允褂貌煌某上衲J?,如二次電子成像和反射電子成像。

數(shù)據(jù)獲?。?根據(jù)需要,獲取表面形貌、元素分布等數(shù)據(jù)。

注意事項(xiàng):

樣品清潔: 樣品表面的雜質(zhì)、塵?;蛭蹪n會影響成像質(zhì)量,因此確保樣品表面干凈。

充電效應(yīng): 對于非導(dǎo)電樣品,要注意充電效應(yīng)。可以使用導(dǎo)電涂層、低電子束能量等方法減輕充電效應(yīng)。

樣品尺寸: 樣品尺寸應(yīng)適合SEM樣品臺,并在臺面上穩(wěn)定固定。

避免損壞: 在操作過程中避免樣品與SEM部件的直接接觸,以防止損壞。

低真空模式: 對于一些樣品,使用低真空模式可以減少氣體分子的影響,有助于克服充電問題。

避免過度曝曬: 高電子束能量和持續(xù)曝曬可能會對樣品造成傷害,因此要避免過度曝曬。

記錄參數(shù): 記錄用于成像的參數(shù),以便能夠重復(fù)實(shí)驗(yàn)或分析。

樣品安全: 有些樣品可能具有毒性、放射性或其他安全風(fēng)險,需要按照安全規(guī)定進(jìn)行處理。

電鏡維護(hù): 在使用后,及時關(guān)閉SEM,進(jìn)行必要的清潔和維護(hù),以保持設(shè)備的正常運(yùn)行。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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作者:澤攸科技