在掃描電鏡（SEM）中，電子束對樣品產(chǎn)生多方面的影響。當(dāng)電子束與樣品相互作用時，產(chǎn)生的相應(yīng)效應(yīng)和信號被用于生成顯微圖像和分析樣品的性質(zhì)。以下是電子束對樣品產(chǎn)生影響的幾個主要方面：

電子-樣品相互作用：電子束在與樣品表面或內(nèi)部相互作用時，會導(dǎo)致電子與樣品原子或分子發(fā)生碰撞。這些相互作用可能包括散射、透射、吸收和激發(fā)等。

電子的散射：電子束中的電子可能會散射回到探測器，從而形成所謂的二次電子圖像，用于顯示樣品表面的形貌和紋理。

透射電子：有些電子可能穿透樣品并離開另一側(cè)，從而形成透射電子圖像。透射電子圖像可用于研究樣品內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu)。

吸收和激發(fā)：當(dāng)電子束進(jìn)入樣品時，它可能會被樣品的原子和分子吸收，并導(dǎo)致樣品中的原子或分子發(fā)生激發(fā)。激發(fā)的電子或光子可以用于分析樣品的元素組成和化學(xué)性質(zhì)。

電荷積累：電子束照射樣品時，可能會在樣品表面積累電荷，導(dǎo)致樣品表面產(chǎn)生靜電效應(yīng)。為了避免這種現(xiàn)象，通常需要對非導(dǎo)電樣品進(jìn)行金屬涂層處理，以提高其導(dǎo)電性。

以上影響是SEM技術(shù)的基礎(chǔ)，通過測量和分析電子與樣品的相互作用，可以獲得樣品表面形貌、元素分布、晶體結(jié)構(gòu)等信息。這些信息對于材料科學(xué)、納米科技、生物學(xué)等領(lǐng)域的研究具有重要意義。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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