在掃描電鏡（SEM）中，探針電子束與樣品之間的工作距離是非常關(guān)鍵的，它會(huì)直接影響到成像的清晰度和信號強(qiáng)度。以下是一些常見的方法和控制參數(shù)，用于控制探針電子束和樣品之間的工作距離：

調(diào)整樣品臺(tái)高度：SEM通常配備有可以控制樣品臺(tái)高度的裝置。通過上升或下降樣品臺(tái)，可以調(diào)整探針電子束與樣品之間的工作距離。調(diào)整樣品臺(tái)高度可以改變電子束的入射角度和聚焦效果。

工作距離調(diào)節(jié)器：一些SEM系統(tǒng)配備了工作距離調(diào)節(jié)器，它可以準(zhǔn)確控制探針電子束和樣品之間的距離。這種調(diào)節(jié)器通常由納米級的位置調(diào)節(jié)裝置組成，通過微小的移動(dòng)來實(shí)現(xiàn)工作距離的調(diào)整。

對焦：SEM通常具有對焦功能，可以調(diào)整探針電子束的聚焦效果。通過對焦功能，可以改變探針電子束的聚焦平面，從而影響到與樣品之間的工作距離。

檢查樣品和電子槍熱點(diǎn)位置：在進(jìn)行SEM操作之前，需要確保樣品的平整性和正確的安裝位置。同時(shí)，還需要檢查電子槍熱點(diǎn)的位置，以確保電子束發(fā)射的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

電子束和樣品的對準(zhǔn)：SEM通常具有對準(zhǔn)功能，可以將探針電子束準(zhǔn)確對準(zhǔn)到樣品的感興趣區(qū)域。通過對準(zhǔn)功能，可以使探針電子束與樣品之間的工作距離保持穩(wěn)定并準(zhǔn)確。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的探針電子束和樣品之間的工作距離如何控制。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢15756003283(微信同號)。