掃描電鏡的工作距離是指樣品表面與電子槍之間的距離。工作距離的大小可以通過調(diào)節(jié)電子槍的位置來改變。

工作距離對于SEM觀察結(jié)果有重要影響，主要體現(xiàn)在以下幾個方面：

深度焦點：工作距離的改變會導(dǎo)致深度焦點的變化。較大的工作距離通常會提供更大的深度焦點范圍，使得樣品的不同深度區(qū)域都能夠保持相對清晰的成像。相反，較小的工作距離將導(dǎo)致較小的深度焦點范圍，要求樣品表面與電子槍之間的高度均勻。

放大倍率：工作距離的改變還會影響到放大倍率。較大的工作距離通常與較大的放大倍率相關(guān)，可以實現(xiàn)高放大倍率的觀察。較小的工作距離則會限制放大倍率的選擇。

解析度：工作距離對SEM的解析度也有一定影響。較大的工作距離可以提供較高的解析度，使得更細(xì)微的細(xì)節(jié)可以被觀察到。較小的工作距離可能會降低解析度。

信號檢測效率：工作距離的改變還會對信號檢測效率產(chǎn)生影響。較大的工作距離可以提高信號檢測效率，使得樣品表面反射或散射的電子信號更容易被探測到。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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