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掃描電鏡如何進(jìn)行放大和聚焦?

日期:2023-06-29

在掃描電鏡(SEM)中,放大和聚焦是獲取清晰圖像的關(guān)鍵步驟。下面是放大和聚焦的常用步驟:

確保SEM系統(tǒng)已正確連接并預(yù)熱至適當(dāng)溫度。在操作SEM之前,應(yīng)按照設(shè)備的操作手冊(cè)進(jìn)行預(yù)熱和初始化過(guò)程。

將樣品安裝到SEM樣品臺(tái)上,并確保樣品臺(tái)水平且穩(wěn)定。使用樣品夾或粘貼劑等方法固定樣品。

打開(kāi)SEM系統(tǒng)并選擇適當(dāng)?shù)募铀匐妷?。通常,低放大倍?shù)下使用較低的電壓(例如1-5kV),而高放大倍數(shù)下使用較高的電壓(例如10-30kV)。

初始對(duì)焦:將電子束聚焦到樣品表面。有兩種常用方法可進(jìn)行初始對(duì)焦:

斷開(kāi)掃描功能:在此模式下,電子束不會(huì)掃描,而是直接擊中樣品表面。使用目鏡或顯微鏡觀察樣品表面,通過(guò)調(diào)整物鏡或目鏡的位置,使電子束聚焦到清晰的圖像上。

利用低放大倍數(shù)掃描:選擇一個(gè)適當(dāng)?shù)牡头糯蟊稊?shù)(例如100-1000倍),啟動(dòng)掃描功能。然后,通過(guò)調(diào)整目鏡或顯微鏡上的對(duì)焦控制,使電子束聚焦到樣品表面的清晰圖像上。

放大調(diào)節(jié):一旦獲得初始對(duì)焦,可以逐漸增加放大倍數(shù)以放大圖像。使用SEM系統(tǒng)的放大控制,逐步增加放大倍數(shù),并觀察圖像質(zhì)量的變化。根據(jù)需要,可以調(diào)整目鏡或顯微鏡上的對(duì)焦控制,以保持圖像的清晰度。

細(xì)致對(duì)焦:在適當(dāng)?shù)姆糯蟊稊?shù)下,進(jìn)行進(jìn)一步的對(duì)焦調(diào)整以獲得高質(zhì)量的圖像清晰度。使用目鏡或顯微鏡上的對(duì)焦控制,微調(diào)聚焦,使圖像盡可能清晰。

調(diào)整亮度和對(duì)比度:根據(jù)需要,可以在SEM系統(tǒng)中調(diào)整亮度和對(duì)比度,以改善圖像的視覺(jué)效果。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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作者:澤攸科技