解決掃描電鏡中的電荷積累現(xiàn)象是保證獲得清晰圖像的重要步驟之一。以下是一些常見(jiàn)的方法和技巧：

使用低電流模式：降低掃描電子束的電流可以減少電荷積累現(xiàn)象的發(fā)生。盡量選擇較低的電流條件，但仍能夠提供足夠的信號(hào)強(qiáng)度。

適當(dāng)?shù)臉悠分苽洌捍_保樣品表面光滑、干凈，并避免靜電聚集。對(duì)于非導(dǎo)電樣品，可以進(jìn)行金屬蒸鍍或碳薄膜覆蓋來(lái)提高導(dǎo)電性。

使用較短的掃描時(shí)間：減少掃描時(shí)間可以減少電子束在樣品上停留的時(shí)間，從而減少電荷積累的可能性。但同時(shí)需要保證掃描時(shí)間足夠長(zhǎng)以獲取清晰的圖像。

使用低溫環(huán)境：將掃描電鏡的環(huán)境溫度降低可以減少電荷積累現(xiàn)象的發(fā)生。較低的溫度有助于減少樣品和環(huán)境中的電子束交互作用。

掃描電子束退火：通過(guò)在樣品表面進(jìn)行較低功率的電子束掃描，可以促使電荷重新分布或消除，從而減少電荷積累的效應(yīng)。

選擇適當(dāng)?shù)臋z測(cè)模式：根據(jù)實(shí)際需要選擇適當(dāng)?shù)臋z測(cè)模式，如二次電子檢測(cè)或退散電子檢測(cè)。不同的檢測(cè)模式對(duì)電荷積累的敏感度可能不同。

增加劑量補(bǔ)償：一些掃描電鏡設(shè)備具有劑量補(bǔ)償功能，可以根據(jù)需要對(duì)電子束的劑量進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整，以減少電荷積累。

定期清理樣品表面：定期清理樣品表面，去除積聚的塵埃或其他污染物，以減少電荷積累的可能性。

請(qǐng)注意，解決電荷積累問(wèn)題可能需要根據(jù)具體的掃描電鏡設(shè)備和樣品特性進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整和優(yōu)化。參考設(shè)備的操作手冊(cè)以獲取更詳細(xì)的指導(dǎo)和建議。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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