掃描電鏡中的電子束與樣品的相互作用是什么?
日期:2023-05-22
在掃描電鏡(SEM)中,電子束與樣品之間存在多種相互作用。這些相互作用包括:
散射:當(dāng)電子束與樣品中的原子或分子相互作用時(shí),會(huì)發(fā)生散射現(xiàn)象。這包括彈性散射(即高角度散射,用于成像)和非彈性散射(即低角度散射,通常用于能譜分析)。散射事件提供了有關(guān)樣品中原子排列、晶體結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分的信息。
透射:在樣品較薄或具有透明性的區(qū)域,電子束可能會(huì)穿過(guò)樣品而不被散射。這種透射現(xiàn)象類似于透射電子顯微鏡(TEM),它提供了關(guān)于樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和組成的信息。
吸收:樣品中的原子或分子可以吸收電子束的能量,導(dǎo)致電子束的衰減。這種吸收現(xiàn)象可以用于測(cè)量樣品的組成和密度。
輻射:電子束與樣品相互作用時(shí),會(huì)產(chǎn)生輻射,如熒光輻射、逆康普頓散射和布拉格反射。這些輻射事件提供了有關(guān)樣品的能譜信息。
電荷交換:電子束與樣品中的原子或分子之間可能發(fā)生電荷交換,導(dǎo)致電子束和樣品之間的電荷轉(zhuǎn)移。這種電荷交換作用可以用于探測(cè)樣品的電荷狀態(tài)、化學(xué)反應(yīng)和表面電荷密度。
這些電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生的信號(hào)可以被SEM系統(tǒng)檢測(cè)和記錄,用于生成圖像和分析樣品的結(jié)構(gòu)、形貌、組成和性質(zhì)。不同的相互作用方式可以用于不同的SEM技術(shù)和應(yīng)用,如成像、能譜分析、電子背散射圖像等。
ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡
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作者:澤攸科技