掃描電鏡需的工作條件和操作步驟
日期:2023-05-19
掃描電鏡的工作條件和操作步驟如下:
工作條件:
環(huán)境:確保在合適的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中進(jìn)行SEM操作,遵守相關(guān)的規(guī)程和實(shí)驗(yàn)室準(zhǔn)則。
電源和冷卻:確保SEM設(shè)備連接到穩(wěn)定的電源,并保持適當(dāng)?shù)睦鋮s條件,以防止設(shè)備過熱。
操作步驟:
準(zhǔn)備樣品:根據(jù)樣品類型和研究目的,制備適合SEM觀察的樣品。這包括樣品固定、去除水分、表面涂覆等步驟。確保樣品干凈、導(dǎo)電性良好,并且尺寸適合SEM觀察。
裝載樣品:將準(zhǔn)備好的樣品裝載到SEM樣品臺(tái)上。使用樣品夾具、樣品架或粘性導(dǎo)電劑等方法固定樣品,確保穩(wěn)定性和導(dǎo)電性。
抽真空:在進(jìn)行SEM觀察之前,需要將SEM系統(tǒng)抽真空以減少氣體分子的干擾。根據(jù)設(shè)備型號(hào)和廠商指南,按照正確的順序操作真空泵和抽真空系統(tǒng),確保系統(tǒng)達(dá)到適當(dāng)?shù)恼婵占?jí)別。
對(duì)準(zhǔn)樣品:使用顯微鏡或其他對(duì)準(zhǔn)裝置,對(duì)準(zhǔn)樣品以確保電子束的正確位置。調(diào)節(jié)樣品位置、傾斜角度和旋轉(zhuǎn)角度,使樣品表面垂直于電子束方向。
調(diào)整參數(shù):根據(jù)樣品類型和觀察需求,調(diào)整SEM參數(shù),如加速電壓、對(duì)比度、亮度、探針電流、掃描速度等。優(yōu)化參數(shù)以獲得所需的圖像質(zhì)量和分辨率。
獲取圖像:開始掃描,通過監(jiān)視SEM圖像的顯示,獲取所需的圖像區(qū)域和圖像模式。根據(jù)需要調(diào)整聚焦、縮放和掃描范圍等參數(shù)。
數(shù)據(jù)記錄和分析:根據(jù)SEM圖像的觀察結(jié)果,記錄數(shù)據(jù)并進(jìn)行進(jìn)一步的分析。這可能涉及測(cè)量樣品尺寸、形狀、表面形貌等參數(shù),或進(jìn)行成分分析、晶體結(jié)構(gòu)分析等。
關(guān)閉設(shè)備:在使用完SEM后,根據(jù)設(shè)備廠商的指南,按照正確的順序關(guān)閉SEM設(shè)備和真空系統(tǒng)。確保設(shè)備處于安全狀態(tài),進(jìn)行必要的清理和維護(hù)。
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作者:澤攸科技