掃描電鏡SEM可以通過(guò)能譜儀（EDS）來(lái)對(duì)樣品的成分進(jìn)行分析。EDS是一種通過(guò)測(cè)量樣品表面上散射的X射線來(lái)確定樣品中元素組成的技術(shù)。它可以用于分析幾乎所有的元素，包括輕元素如碳、氧、氮等，以及重元素如金屬和半金屬元素。

EDS分析的步驟如下：

在SEM中選擇合適的工作條件，使得電子束能夠穿透樣品并產(chǎn)生X射線。

將EDS探測(cè)器置于樣品表面上，以便探測(cè)樣品表面散射的X射線。

當(dāng)電子束轟擊樣品表面時(shí)，樣品中的原子會(huì)被激發(fā)并產(chǎn)生X射線。不同元素的原子產(chǎn)生的X射線能量不同，因此可以通過(guò)測(cè)量X射線的能量來(lái)確定樣品中元素的組成。

EDS探測(cè)器收集散射的X射線并將其轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，這些信號(hào)被送入電子學(xué)放大器和分析器中進(jìn)行處理。

分析器將信號(hào)處理成能譜圖，能譜圖上顯示了樣品中各元素的信號(hào)強(qiáng)度和能量。通過(guò)與已知標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的能譜比對(duì)，可以確定樣品中元素的組成。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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