掃描電鏡（SEM）使用高能電子束與樣品相互作用，因此加速電壓是掃描電鏡中非常重要的參數(shù)之一。

加速電壓指的是電子束在掃描電鏡中加速的電壓。在SEM中，電子束從電子槍發(fā)射出來(lái)后，通過(guò)一系列的透鏡和偏轉(zhuǎn)器，被聚焦成一個(gè)小點(diǎn)，并在樣品表面掃描。掃描電子束與樣品相互作用，產(chǎn)生二次電子、反射電子、散射電子、X射線等不同的信號(hào)，這些信號(hào)被探測(cè)器接收并轉(zhuǎn)化為圖像。

加速電壓的作用包括：

影響電子束的能量和速度：加速電壓越高，電子束的能量和速度越大，電子束穿透樣品的深度也越深，從而影響圖像的分辨率和對(duì)樣品的破壞程度。

影響圖像的對(duì)比度：加速電壓對(duì)圖像的對(duì)比度有很大的影響。在低加速電壓下，電子束與樣品表面相互作用時(shí)，產(chǎn)生的二次電子信號(hào)相對(duì)強(qiáng)烈，從而提高圖像的對(duì)比度。

影響EDS分析結(jié)果：在EDS分析中，加速電壓對(duì)激發(fā)X射線的能量和強(qiáng)度有很大的影響，因此須根據(jù)樣品的性質(zhì)和所需的分析結(jié)果來(lái)選擇合適的加速電壓。

因此，選擇合適的加速電壓是SEM中非常重要的一個(gè)參數(shù)，需要根據(jù)樣品的性質(zhì)和所需的分析結(jié)果來(lái)確定。

臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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