掃描電鏡-能譜儀在使用中，為了保證準確的定量結果，樣品應滿足如下條件：

1、在真空和電子束轟擊下穩(wěn)定，樣品組分不會蒸發(fā)或分解。

2、分析面平坦，與電子束垂直。

3、樣品上被檢區(qū)域尺寸應大于X射線擴散范圍，減少基體的影響。

4、有良好的導電和導熱性能，沒有荷電現(xiàn)象，分析部位穩(wěn)定。

5、樣品為均質(zhì)材料。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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