同時集成了力學(xué)測量模塊及MEMS芯片模塊，可以在對樣品1000 ℃加熱的同時進行定量的力學(xué)測量。MEMS芯片模塊上可以選擇加熱芯片，也可以選擇電學(xué)測量芯片。力學(xué)測量模塊可以選擇不同載荷的傳感器，滿足不同實驗需求。

        該產(chǎn)品實現(xiàn)了透射電鏡中真正意義上的高分辨定量原位高溫力學(xué)研究。

性能指標
 

 透射電鏡指標：

● 兼容指定電鏡型號及極靴；

● 部分型號電鏡可選雙傾版本，雙傾電學(xué)測量樣品桿Y軸傾角±25°;（同時受限于極靴間距）；
     

力學(xué)傳感器指標：

● 最大載荷100 mN（可選0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；

● 力測量實測噪聲優(yōu)于5nN（0.1 mN最大載荷時）；

● 力測量實測分辨率優(yōu)于5 nN（0.1 mN最大載荷時）；

● 自動測量力-距離曲線，自動保存。

加熱指標：

● 溫度控制范圍：室溫至1000 ℃；

● 溫度準確度：優(yōu)于5%；

● 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 ℃。