2024年澤攸科技精選自研科學(xué)儀器清單
日期:2024-03-18
臺(tái)式掃描電鏡、原位SEM、原位TEM、臺(tái)階儀、二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)、納米位移臺(tái)、低溫探針臺(tái)、掃描隧道顯微鏡、化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、光柵尺、壓電物鏡。
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ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡
該系列產(chǎn)品融合了多項(xiàng)自主創(chuàng)新核心技術(shù),兼具很高的成像質(zhì)量和便攜性能,滿足廣泛應(yīng)用需求。
ZEM系列產(chǎn)品集成度高,配置靈活可選。除二次電子、背散射電子等標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器外,還可根據(jù)需求集成能譜儀等分析模塊。多種原位樣品臺(tái)讓ZEM系列適配各類原位實(shí)驗(yàn)需求,如原位拉伸、高溫、低溫等。
操作方便,學(xué)習(xí)簡(jiǎn)單,非專業(yè)人士也可快速上手。ZEM配套軟件貫穿整個(gè)工作流程,從樣品導(dǎo)入、參數(shù)設(shè)置到成像分析,一站式便捷。
目前,ZEM系列已在新材料、新能源、生物醫(yī)藥、半導(dǎo)體等諸多領(lǐng)域展現(xiàn)出強(qiáng)大的分析實(shí)力,幫助科研人員直觀觀測(cè)微納世界奧秘。憑借性價(jià)比,ZEM系列臺(tái)掃已然成為高校、研究所和企業(yè)廣泛采用的選擇之一。
PicoFemto原位SEM測(cè)量系統(tǒng)
該系列產(chǎn)品是將原位拉伸、納米壓痕、低溫、液體、氣體等多種測(cè)試模塊集成進(jìn)掃描電鏡內(nèi)部,從單一成像設(shè)備升級(jí)為多功能復(fù)合實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。
PicoFemto原位SEM測(cè)量系統(tǒng)的亮點(diǎn),就是使用戶能夠在掃描電鏡內(nèi)部進(jìn)行原位實(shí)驗(yàn),從而捕捉到樣品在特定條件下的變化過程,這對(duì)于研究樣品的動(dòng)態(tài)行為、相變過程等具有重要意義。
SEM低溫/冷凍真空傳輸系統(tǒng)
這也使得掃描電鏡不再是簡(jiǎn)單的表征成像工具,而是功能強(qiáng)大、應(yīng)用前景無限的納米分析平臺(tái)。
PicoFemto原位TEM測(cè)量系統(tǒng)
該系列產(chǎn)品通過自主研發(fā)的技術(shù),可在透射電鏡中引入光、電、力、熱、冷凍、液體、氣氛等多種原位狀態(tài),將您的透射電鏡打造成功能強(qiáng)大的納米實(shí)驗(yàn)室。
PicoFemto原位TEM測(cè)量系統(tǒng)的核心優(yōu)勢(shì)在于實(shí)時(shí)原位觀察樣品在真實(shí)環(huán)境下的動(dòng)態(tài)現(xiàn)象,從而觀察材料的變化并進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。目前該系統(tǒng)已在國(guó)內(nèi)外高校和研究機(jī)構(gòu)投入使用,取得了一系列有影響力的研究成果。
JS系列高精度臺(tái)階儀
臺(tái)階儀可以對(duì)微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和臺(tái)階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量,在高校、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。
長(zhǎng)期以來,這一領(lǐng)域被國(guó)外產(chǎn)品壟斷。而澤攸科技自主研發(fā)的JS系列高精度臺(tái)階儀,憑借突破性的關(guān)鍵技術(shù),打破了國(guó)外壟斷,是半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中不可或缺的一環(huán)。
JS系列臺(tái)階儀的核心優(yōu)勢(shì)在于大行程平面掃描、大帶寬大行程納米微動(dòng)臺(tái)、超微壓力恒定控制等自主創(chuàng)新技術(shù)。大行程平面掃描技術(shù)行程55mm,平坦度優(yōu)于20nm,超微壓力恒定控制探針壓力0.5~50mg,大帶寬大行程納米微動(dòng)臺(tái)技術(shù)行程80um,分辨率0.1nm,帶寬10KHz。憑借這些技術(shù)指標(biāo),JS系列臺(tái)階儀可滿足各類制造環(huán)節(jié)中對(duì)表面粗糙度的高要求測(cè)量需求。
目前,JS系列已成為半導(dǎo)體、新型平板顯示、光學(xué)元件等制造環(huán)節(jié)中重要的質(zhì)量把控工具。澤攸科技還將進(jìn)一步推進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新,為實(shí)現(xiàn)更多關(guān)鍵制造環(huán)節(jié)的國(guó)產(chǎn)化貢獻(xiàn)力量。
二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)
澤攸科技二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)是一種集成了多種功能的實(shí)驗(yàn)裝置,用于制備和轉(zhuǎn)移二維材料樣品。它由氣浮隔震臺(tái)、電動(dòng)位移臺(tái)組、加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)、真空吸附系統(tǒng)、顯微鏡成像系統(tǒng)等模塊組成,可實(shí)現(xiàn)樣品的微米級(jí)位移、高溫加熱處理、角度調(diào)節(jié)、真空吸附固定以及高倍顯微觀察,為二維材料的制備、分離、轉(zhuǎn)移等實(shí)驗(yàn)操作提供了完整的解決方案。
納米位移臺(tái)
澤攸科技?jí)弘婒?qū)動(dòng)納米位移臺(tái),使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件,可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的步長(zhǎng),從而解決了傳統(tǒng)納米臺(tái)行程小而微米電動(dòng)臺(tái)分辯精度不高的問題。在科研市場(chǎng)、半導(dǎo)體市場(chǎng)、先進(jìn)制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。
探針臺(tái)及低溫系統(tǒng)
澤攸科技低溫探針臺(tái)是一種廣泛用于研究和測(cè)試低溫材料的儀器設(shè)備,包括半導(dǎo)體、MEMS、超導(dǎo)、鐵電子學(xué)、材料科學(xué)以及物理和光學(xué)等領(lǐng)域。它能夠在極低溫環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行各種物理性能和電學(xué)性能測(cè)試,為科研工作者和工程技術(shù)人員提供極為重要的測(cè)試手段。
掃描隧道顯微鏡
澤攸科技掃描探針顯微鏡(STM)為代表的超高真空設(shè)備廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究中,主要進(jìn)行對(duì)表面有關(guān)或者在表面發(fā)生的所有物理化學(xué)現(xiàn)象進(jìn)行原子尺度的研究。超高真空低溫(4K)STM系統(tǒng)包含關(guān)鍵技術(shù)如壓電陶瓷步進(jìn)馬達(dá)、低溫STM探頭、超真空液氦雙層杜瓦等。超高真空低溫掃描探針顯微鏡系列產(chǎn)品,除了高性能STM、調(diào)頻AFM、TERS等設(shè)備外,還可將核心部件模塊化,集成化,針對(duì)科研用戶,定制開發(fā)所需功能和設(shè)備。
光柵尺
澤攸科技微型超高真空光柵尺,體積小,結(jié)構(gòu)緊湊;適用于超高真空使用;良好的耐高溫性,可達(dá)100°C;精度高,精度±3μm(20°C);采用玻璃柵尺,膨脹系數(shù)小,讀數(shù)穩(wěn)定性良好;分辨率高,配合TF15細(xì)分接頭,讀數(shù)分辨率可達(dá)4nm;安裝容許公差大(容許誤差±0.1mm)。
壓電物鏡
澤攸科技?jí)弘娢镧R采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)物鏡掃描臺(tái),內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),確保了掃描臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。掃描臺(tái)內(nèi)置位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。掃描臺(tái)為無磁材質(zhì),使用過程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。聚焦行程可達(dá)100微米。分體的螺紋適配器,可適配多種型號(hào)的物鏡。
化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
澤攸科技多功能電感耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)是用來制備高純、高性能固體薄膜的主要技術(shù),主要借助微波或射頻的方法將目標(biāo)氣體進(jìn)行電離,促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)在較低的溫度下進(jìn)行,從而在基片上沉積出所期望的薄膜。
目前項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的CVD設(shè)備可在多種襯底上(如金屬、氧化物、半導(dǎo)體表面)直接生長(zhǎng)以石墨烯為代表的各類新型二維材料,用于新材料、新器件的研發(fā)。工藝簡(jiǎn)單廉價(jià),且具有傳統(tǒng)半導(dǎo)體生長(zhǎng)工藝的兼容性。
材料科學(xué)是推動(dòng)現(xiàn)代科技進(jìn)步的重要基石。新材料、新工藝的不斷涌現(xiàn),為人類社會(huì)注入持久動(dòng)力。而科研儀器設(shè)備是材料研究和創(chuàng)新的重要助力,是推動(dòng)材料科學(xué)不斷突破和發(fā)展的利器。
作為具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的儀器高科技公司,澤攸科技一直堅(jiān)持自主創(chuàng)新的發(fā)展理念,在多個(gè)材料科學(xué)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了關(guān)鍵核心技術(shù)突破,打造出一系列國(guó)產(chǎn)替代的產(chǎn)品,為國(guó)家材料科技自主可控貢獻(xiàn)力量。
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作者:澤攸科技